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寻找株所印记(九)-第一个半导体净化厂房的诞生记

来源: 2022-11-21
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编 者 按

春秋代序,岁月更迭,从共和国的火热岁月到新时代的意气风发,从偏居田心一隅的默默无闻到全球开枝散叶的笑傲同侪,在似水的流年中,我们在奋斗的路程中勇敢跋涉,在无悔的青春中,我们留下难以磨灭的时代印记。

是什么力量,让我们一往无前?是什么力量,让我们无怨无悔?也许她藏在老房子的斑驳中,也许她停留在老画面的影像中。在“十四五”新局开启之际,株洲所企业文化部推出系列短视频,挖掘60余年的珍藏,讲述60余年的故事,唤醒60余年的记忆。重拾株所文化的新意,既是以此对过去的深切回眸,也是对美好未来的无限憧憬。在生生不息的文化传承中,积蓄思想的光芒,汲取发展的伟力,在新时代的征程奋力不忘初心,赓续前行!

                                                                               

一代功率半导体技术决定一代机车的水平,在株洲所,功率半导体产业从无到有,由弱到强,经历了50多年的发展历程,成为国内同行的佼佼者。

问渠那得清如许,为有源头活水来。这栋矮平房,尽管有些不起眼,它是株洲所的第一个半导体净化厂房,可以说是我们半导体腾飞的策源地,今天,我们就来说说它的故事。

时间回溯到上世纪70年代,众所周知,半导体的生产对环境要求很高,没有洁净的厂房、没有像样的净化设备,极大的影响产品的成品率。

童宗鉴(株洲所半导体资深专家):当时社会流行“茅草房里也可以做可控硅”,但是所领导坚持生产高质量产品必须具备坚实的基础条件,坚持要建造一座净化厂房。

1972年,原铁道部工业总局在株洲所召开了硅器件制造经验交流会。会议的一个中心议题就是如何提高功率半导体器件质量和上车率,并要求株洲所在这方面进行研究。

借此契机,所领导向上级申请,要改善硅器件测试条件,就必须要建一个半导体净化厂房。得到审核批准后,厂房选址在选定在今天田心机厂游泳池北侧,占地面积9489平米,总投资150万元。然而,建净化厂房,可不是件简单的事,施工单位从没建过,无例可循,拿到设计图纸后无从下手。

童宗鉴(株洲所半导体资深专家):第一栋净化厂房建设中,研究所组织很多科技人员参予关键部位的工作,包括风道安装、电力线路的架线、风淋室设计安装及一批生产工艺设备制造,都是我们自己亲手干出来的。

从1975年3月开工,到1978年5月竣工投产,历时整整3年,第一个净化厂房总算建成了。厂房建成使用后,器件质量大幅度提高,等级合格率提高了60%,株洲所半导体器件迎来蓬勃发展,很快进入了国内先进行列。

童宗鉴(株洲所半导体资深专家):事实也证明这一步走对了,厂房的建造走出了半导体科技兴厂的第一步,产品合格率大幅度提高,也创造了可观的经济效益。

随着第一个净化厂房的建设,株洲所陆续又建成了第一座1000级净化厂房,国内第一条具有完全自主知识产权的4英寸全压接器件生产线,5至6英寸全压接高压大电流器件厂房,国内首条8英寸大功率IGBT芯片及模块生产线……

株洲所用50年的时间,形成了功率半导体“芯片-器件装置-系统”的完整产业链,成为国际上少数同时掌握IGBT、SiC器件、晶闸管、IGCT及其组件技术的产业化基地之一,占领市场高地。我们有充足的理由相信,未来,半导体产业发展壮大之路,将会更宽广!

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